シリカスラリーの安定性がディフェクト性能に与える影響

抄録

本研究ではスラリーのスクラッチ性能を改善する重要な要因を明らかにした。酸化膜研磨におけるディフェクト性能は、スラリー中の凝集粒子の数と相関があると考えられている。しかし、その相関関係が必ずしもディフェクト数と合致しない現象が存在する。したがって、本研究では粗大粒子数とは別の観点でディフェクト性能と相関がある項目を検討し、それがスラリーの動的安定性であることを解明した。