アルミ磁気ディスク基板のポリシング特性に及ぼすポリシャ表面構造の影響

ポリシャ厚みの影響

抄録

アルミ磁気ディスク基板の一次ポリシング特性に及ぼすスエードタイプのポリシャ表面構造の影響を検討した．ポリシャの開孔径とポリシング除去速度には相関が見られるが，ポリシャの厚みとポリシング除去速度は相関が見られない．ポリシャ表面構造がポリシング除去速度に影響を及ぼしている．ポリシャの厚みは研磨基板の端部形状に影響する。