精密工学会学術講演会講演論文集
2009年度精密工学会春季大会
セッションID: G18
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結晶格子とSTMを用いた軸受運動誤差直接測定法
軸受ラジアル運動誤差高周波数成分と計測速度
*CHAIKOOL PATAMAPORN明田川 正人SOEATUPTIM JARATSRI奥山 栄樹
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抄録
本研究室では,STMとグラファイト結晶を用いた2次元原子エンコーダ法を開発し,軸受のラジアルモーション計測に適用しつつある.しかし,2次元原子エンコーダ法は測定速度に制限(最大100nm/s)があり,注意する必要がある.軸受のラジアル高周波数成分と回転速度により測定速度が決められることを見出したので報告する.ドナルドソン反転法で2種の軸受のラジアル運動誤差を検査し,2次元原子エンコーダ法が適用可能か調べた.
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© 2009 公益社団法人 精密工学会
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