結晶格子とＳＴＭを用いた軸受運動誤差直接測定法

軸受ラジアル運動誤差高周波数成分と計測速度

抄録

本研究室では，STMとグラファイト結晶を用いた２次元原子エンコーダ法を開発し，軸受のラジアルモーション計測に適用しつつある．しかし，２次元原子エンコーダ法は測定速度に制限(最大100nm/s)があり，注意する必要がある．軸受のラジアル高周波数成分と回転速度により測定速度が決められることを見出したので報告する．ドナルドソン反転法で２種の軸受のラジアル運動誤差を検査し，２次元原子エンコーダ法が適用可能か調べた．