抄録
自由曲面形状をナノメータの精度で形状計測をおこなうための計測装置を開発している．ところが，曲率の大きい形状を測定するためには法線ベクトル測定点時の試料と検出器間の光路長Ｌを高精度で求めなければ，法線ベクトルから形状を求める際に形状誤差を生じる．しかし，測定装置上で高精度で光路長Ｌを計測することは困難である．そこで，測定装置上で光路長Ｌの絶対値をサブミクロンの精度で求める自律較正法を提案する．またフーリエ級数で測定面形状を近似し、最小二乗法によって、その点での法線ベクトルの残差を最小にするフーリエ級数展開係数を求めて測定面形状を一意的に決定する「フーリエ級数展開最小二乗法」という新しい形状導出アルゴリズムの開発をおこなった。
