3点法による真直度測定における誤差伝播

抄録

3点法による真直度測定は、測定時の走査に関わる誤差の影響を原理的に受けないことから、長距離の測定に有利と考えられる。その一方で、形状導出過程に積分を用いることから、長距離の測定において積分回数が増加すると、導出形状への誤差蓄積が懸念される。ここでは、誤差伝播則に基づき3点法による導出形状への誤差伝播量を見積り、測定値との比較を通して、測定パラメータの変化に対する誤差伝播量の変化について検証する。