シリコン含有アモルファス炭素膜の合成とそのガスバリア性評価

抄録

アモルファス炭素（a-C:H）膜は，PETボトルにコーティングすることでガスバリア性を向上することができ既に実用化されているが，PET本来の可視光透明性を低下させることが意匠性の観点から問題となっている．そこで本研究ではガスバリア性と透明性の向上を目的とし，シリコンを含むa-C:H膜を合成し，酸素バリア性及び光透過性の評価を行った．その結果，適量のシリコンを含有するa-C:H膜は高バリアかつ高い透明性を有する事を明らかにした．