リニアマイクロフィーダのツインピエゾ駆動

抄録

マイクロメカニズムとしての板ばねを芯材として一体構造で構成する直進型マイクロフィーダにおいて、ツイスト型と同様に、バイモルフ型ピエゾアクチュエータを板ばねに構成する位置およびその長さが振動特性に大きく関わる。本報では、板ばねに２つのピエゾ素子を設けて大きな振幅が得られる最適な位置と長さを明らかにする。従来の１つのピエゾ素子の場合と比較して、それぞれの素子単独の場合の重ね合わせになることがわかった。