側面支持型リニアマイクロフィーダのピエゾ駆動部の考察

抄録

マイクロメカニズムとしての板ばねを芯材として一体構造で構成する直進型マイクロフィーダにおいて、側壁に板ばねを取り付けて支持することで多くのフィーダを立体的に設置して、システムの集積化小型化を可能とする。二枚の板ばねがカギ型に曲がってトラックと直角方向に支持板ばね軸が位置するタイプについて検討した。板ばねに構成するバイモルフ型ピエゾアクチュエータの位置およびその長さに大きな振幅の得られる最適条件の存在が明らかになった。