液体の表面張力を用いたマイクロ部品のセルフアライメント

マイクロ部品の自律直立と接着

抄録

本研究の目的は液体の表面張力を用いたマイクロ部品のセルフアライメント技術を確立することである。本報では、液体に接着剤を用いることにより、マイクロ部品を指定位置に自律直立させると同時に固定する方法について述べ、アライメントに適した液量や部品の挙動など、実験的に調べた結果について報告している。