平行平板を用いた位相シフトシアリング干渉計による非球面レンズ評価の試み

抄録

平行平板を用いた位相シフトシアリング干渉計による非球面レンズの評価手法の試みについて報告する。シアリング干渉法とは測ろうとする波面とそれをわずかにずらした波面とを干渉させることによる計測手法である。同一経路干渉であり外乱に安定であり、また、原器が不要であるので測定対象に対する制限が小さい、などの特徴を有する。本報告ではこの手法を用いて、多様な非球面レンズの性能を評価する試みについて述べる。