中空管マイクロポンプ用圧電アクチュエータの動的圧電解析

大内 康太郎; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2010A.0.835.0

2010年度精密工学会秋季大会

セッションID: M31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010A.0.835.0

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主催: 社団法人精密工学会

中空管マイクロポンプ用圧電アクチュエータの動的圧電解析

*大内康太郎, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 圧電アクチュエータ, FEM, マイクロポンプ

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抄録

著者らが提案している中空管マイクロポンプはアクチュエータである円筒型PZTの振動を制御することで中空管内の流体を輸送する．これまでの研究ではポンプ機能向上を目的として，静的圧電解析による円筒型PZT形状の改良について検討を行った．本報告では，ポンプ機能向上が可能な円筒型PZTの最適駆動条件の探索を目的とし，円筒型PZTの振動現象を考慮した動的圧電解析を用いて円筒型PZTの駆動条件の検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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