ワイヤ放電加工面への水熱合成法によるPZT薄膜の成膜

抄録

水熱合成法は立体形状をもつ構造体表面にも容易にPZT薄膜を成膜できる、マイクロアクチュエータの作製に適した手法であり、母材となるチタン板をワイヤ放電加工することにより、機構と一体となったアクチュエータを作製可能である。本研究では、チタン材放電加工面を改善して、PZT薄膜を成膜し、アクチュエータとして評価を行った。