超音波アシスト水熱合成法を用いたフレキシブル圧電薄膜の合成

抄録

現在までに、水熱合成法を用いて、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)薄膜をチタニウム基板上へ成膜する手法が研究されており、これによって得られた薄膜は、既に超音波モーターや超音波プローブに応用されている。本研究ではその手法をもとに、プラスチック基板へのPZT薄膜の成膜法を開発した。より柔軟な素材であるプラスチックを基板として用いることで、超小型医療用超音波診断デバイスなどへの応用範囲の拡大が期待される。