ディスペンサを用いたパターン化微粒子自己整列

高田 健一郎; 諸貫 信行; 金子 新; 田中 靖紘

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.1123.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: R32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.1123.0

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主催: 社団法人精密工学会

ディスペンサを用いたパターン化微粒子自己整列

*高田健一郎, 諸貫信行, 金子新, 田中靖紘

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キーワード: ディスペンサ, 懸濁液, 微粒子, 自己整列, シリカ, パターン

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抄録

ディスペンサとステージ動作の組合せにより所望の場所に懸濁液を供給・乾燥させることで，微粒子の自己整列構造の作製が期待できる．本研究では，懸濁液の濡れ広がりと懸濁液内部の対流の調整法を検討した．懸濁液にグリセリンを混合することで表面張力や乾燥速度を調整し，直線パターンを形成したときの整列結果への影響を調べるとともに，直線パターンを重ねることで大規模にわたる微粒子整列（粒径1umシリカ微粒子）を試みた．

責任著者(Corresponding author)

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