親水・疎水パターンへの金属酸化物微粒子の自己整列とその応用

抄録

金属酸化物の微粒子を所望の位置に整列させることで，高感度ガスセンサへの応用が期待できる．本研究では，まず移流集積法を用いて酸化錫および酸化亜鉛の微粒子（粒径数十nm）を親水・疎水パターンへ整列させる際の課題を明らかにし，その解決を行った．次いで整列粒子のガス雰囲気中での抵抗評価を行い，ガス導入前後での抵抗値の変化からガス検出ができることを示すとともに，更なる高感度化への検討を行った．