微小押込みと超精密切削との複合プロセスによる微細形状の大面積創成

（第２報）圧痕の高精度化

抄録

現在，マイクロレンズアレイ金型等の微細構造体は切削等の除去加工によって作成されている．これらの微細構造体の加工工程の一部，又は全てをインデンテーション法に置き換えることで加工能率，工具摩耗の点で有利になると考えられる．本研究では球形状の圧子を用いたインデンテーション実験，FEMシミュレーションを行うことで，インデンテーションによる形状創成の可能性に関する調査を行う．