精密工学会学術講演会講演論文集
2010年度精密工学会春季大会
セッションID: E45
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恒温恒“屈折率”チャンバーの提案
第2報:空気の屈折率変動抑制の実験
*大久保 ユリアバン クォック トゥアン村井 慶之介明田川 正人
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抄録

従来のレーザ干渉計は屈折率変動の影響により測定精度の向上が難しい。近年微細加工の進展に伴い、サブナノメートル以下の精度が求められつつある。本研究ではPound-Drever-Hall法を用いて密閉容器内の屈折率変動を相対精度10-9で捉え、(1)空気屈折率が温度と気圧の関数であること、(2)容器内は温度一定の場合気圧が体積の関数であること、に着目し密閉容器内で屈折率安定制御を行うことを目的とする。

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© 2010 公益社団法人 精密工学会
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