主催: 社団法人精密工学会
長岡技術科学大学 大学院工学研究科 機械創造工学専攻
長岡技術科学大学 大学院工学研究科 情報制御工学専攻
長岡技術科学大学 工学部 機械創造工学課程
長岡技術科学大学 工学部 機械系
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従来のレーザ干渉計は屈折率変動の影響により測定精度の向上が難しい。近年微細加工の進展に伴い、サブナノメートル以下の精度が求められつつある。本研究ではPound-Drever-Hall法を用いて密閉容器内の屈折率変動を相対精度10-9で捉え、(1)空気屈折率が温度と気圧の関数であること、(2)容器内は温度一定の場合気圧が体積の関数であること、に着目し密閉容器内で屈折率安定制御を行うことを目的とする。
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