主催: 社団法人精密工学会
ニコン インストルメンツカンパニー 産業機器開発部
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標準尺は校正の際にホルダーに搭載されるが、ホルダーに搭載される位置によって尺の変形量が決まるため、搭載位置にばらつきがあると尺の目盛線間隔が異なる。搭載位置のばらつきに起因する標準尺の目盛線間隔の不確かさに関してシミュレーションと実験による定量的な検討を行なった。また、この不確かさを低減する可能性を持つ底面に脚のついた標準尺を提案する。
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