光周波数コムレーザを用いたノンプリズム型精密測距法（第2報）

ブロックゲージによる精密評価と粗面計測への応用

抄録

近年、ものづくりに関する科学技術や産業技術が高度化し、製造過程において幾何学量の精密な計測が必要とされている。前報では、光周波数コムレーザを利用した新測距法を提案し、その変調波の位相計測により高分解能に計測する装置を製作した。本報では装置の性能を、レーザ光源の安定化及び光検出系の高感度を向上させ、ブロックゲージと鏡面を用いて精密評価し、さらに粗面物体に対する計測への応用も検証したので報告する。