抄録
筆者らは，2枚のXY格子からの±1次回折光によって生じる干渉信号を解析することで，XYZ 3軸の変位を同時に計測できる3軸サーフェスエンコーダを提案している．本センサでは，3軸変位計測のためのスケールとしてXY格子を用いているので，スケールXY格子全面に渡る格子ピッチ偏差や真直度誤差がサーフェスエンコーダ計測誤差に影響する．本報では，スケールXY格子全面の回折光波面を解析し，スケールXY格子の形状誤差を導出した．更に，求めたXY格子形状誤差を用いてサーフェスエンコーダ計測誤差の非線形成分の補正を試みた．
