表面粗さ用の標準片の製作と評価 新しい表面形状の試作と提案

吉田 一朗; 岡崎 祐一; 加藤 教之; 田中 信章; 小林 好行; 宮本 紘三

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.417.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: E66

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.417.0

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主催: 社団法人精密工学会

表面粗さ用の標準片の製作と評価

新しい表面形状の試作と提案

*吉田一朗, 岡崎祐一, 加藤教之, 田中信章, 小林好行, 宮本紘三

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キーワード: 表面粗さ用標準片, 表面性状, チャープ波形, 製作システム, ガウシアンフィルタ, ISO 5436-1:2000

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抄録

表面性状測定機の校正にはISO 5436-1:2000 に準拠した標準片が用いられているが，限られた機関がそれらの標準片の一部を供給するのみである．そのため，筆者らは標準片の普及を目的とした校正用標準片の製作システムを開発し，前報においてその加工システムの高精度化について報告した。本報では，このシステムを活用してChirp(Sweep)波形や円弧溝形状などの試作を行ったので，その結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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