電磁アクチュエータを用いた高速工具計測制御装置に関する研究

力センサを組み込んだ装置の設計と基本特性実験

抄録

三次元微細パターンの加工方法として，駆動方式に圧電アクチュエータを採用した高速工具制御技術が広く研究されている．しかしながら圧電アクチュエータにはヒステリシスといった問題がある．そこで，本研究では電磁アクチュエータを用いることで圧電素子のデメリットを回避し，また加工力がインプロセスで計測できるように，高感度の力センサを組込んだ新しいタイプの高速工具制御装置の開発を目的とする．