1bitパルス駆動による圧電アクチュエータのQ値制御

抄録

圧電アクチュエータを高速、高精度に変位制御しようというものが今回の目的である。この対処方法としてQ値制御があげられるが本研究ではこれをディジタル信号処理によって行う。駆動方法はΔΣ変調信号を用いた1bitパルス駆動で実際にスイッチング電源を作成し、圧電アクチュエータの駆動を行った。またディジタル信号処理によるQ値制御の理論的検証を始め、実現手法の検討を行った。