ニオブ酸リチウムウェハーの延性モード切削に関する研究

静 弘生; 奥田 孝一; 布引 雅之; 李 偉; 稲岡 孝信

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.5.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: A05

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.5.0

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主催: 社団法人精密工学会

ニオブ酸リチウムウェハーの延性モード切削に関する研究

*静弘生, 奥田孝一, 布引雅之, 李偉, 稲岡孝信

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キーワード: 超精密加工, ダイヤモンド切削, マイクロチャンネル, ニオブ酸リチウム, 表面弾性波, 延性モード

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抄録

表面弾性波型マイクロポンプなどに使用されているニオブ酸リチウムは非常に強い結晶方向依存性を持つ脆性材料であるため，通常切削加工は困難である．しかしながらこのような脆性材料でも，切り込みや切削条件を調整することにより延性材料同様の加工が出来ると考えられる．そのことから本研究ではニオブ酸リチウムの脆性モードによる切削加工の可能性について検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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