パルス真空アーク蒸着炭化タングステン膜の耐熱性

相澤 孝一; 平田 敦

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.509.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: F63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.509.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

パルス真空アーク蒸着炭化タングステン膜の耐熱性

*相澤孝一, 平田敦

著者情報

キーワード: 真空アーク, 蒸着, 炭化タングステン, 薄膜, 耐熱性

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

蒸着源を変化させて膜特性を制御したパルス真空アーク蒸着法により，炭化タングステン膜を合成し，ガラス金型保護膜としての利用を想定した場合の膜の耐熱性を評価した．カーボンブラックを3wt%加えて焼結したカーボンリッチ炭化タングステンとタングステンを蒸着源として合成した膜は，アルゴン雰囲気，500℃で加熱した後にWCの結晶性が見られ，表面粗さは0.66nmRaから2.4nmRaに，硬さは8.2GPaから14.7GPaに変化し，平滑で硬さを維持することができた．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）