パウダージェットデポジション法によるセラミックス膜創成に関する研究

抄録

これまで筆者らは，微粒子を高速で基板に吹き付けることにより成膜を行うPJD法を開発した．しかし，PJD法による成膜のメカニズムは十分に解明されていない．そこで微粒子衝突時の粒子の破砕に注目し，成膜メカニズムについて検討した．