ラッピング加工における目切りした定盤溝中を流れるスラリー挙動

抄録

ラッピングにおいて高精度加工を行う際，定盤にスラリーが均一に供給されることが重要であり，スラリーの均一介在を目的に定盤には溝が加工されている．しかし，この溝がスラリー挙動へ与える影響については未だ不明確である．そこで，本研究においては，上定盤の溝を模したモデル実験装置を使用し，スラリー挙動の可視化及び観察を行った．そして，観察より明らかとなった溝中を流れるスラリーの挙動について述べる．