スケルトン両面研磨機における研磨現象の解明

抄録

両面研磨中に発生する現象を把握するために、可視化できる研磨機を作製し、両面研磨中の試料の運動、砥粒の供給のされ方などが観察できるようになった。その観察結果について報告する。