ナップパッドの研磨レート低下メカニズムに関する研究

抄録

研磨レートは研磨パッドの使用に伴い低下する。硬質発泡ウレタンパッドの場合、表面と内部の構造が一様でありダイヤモンドドレスにより回復出来る。しかしナップパッドでは開口径等が変わるためこのような処理はなされない。したがってナップパッドには研磨レートが低下しにくい特性を付与しておくことが望ましい。そこでナップパッドにおける研磨レートの低下メカニズムの検討を行った。