共焦点反射方式による「ガラス応力測定装置」

抄録

液晶パネルの製造工程で製品に高い残留応力があると、後工程で割れや欠けに繋がる。我々は、ガラスを貼り合わせた後でも、表面と裏面の各ガラスの応力分布が測定できる技術を開発した。共焦点方式により複数のガラス界面で反射する微弱な複屈折を分離検出し、応力値に換算している。本装置は、液晶パネルの製造工程のほか、ＭＥＭＳの製造工程にも広い用途がある。