ModelingNanoのための3次元光学顕微計測に関する研究

多光束干渉を利用した広範囲3次元変調照明生成・制御装置の開発

抄録

本研究では，ナノ・マイクロ領域における形状モデリングのための計測データの取得を目的としている．従来の光学顕微鏡では回折限界や被写界深度の浅さゆえ，詳細な3次元計測データを取得するのが困難であった．そこで，超解像度化・超被写界深度化するために，多光束干渉を利用した広範囲3次元変調照明生成手法を提案する．3次元変調照明制御装置を開発しPSL粒子の顕微観察により生成確認を行ったのでその結果を報告する．