抄録
ナノテクノロジーは科学技術基本計画の重点推進分野として急速に発展しており，ナノ・マイクロレベルの計測技術は長足の進歩を遂げている．これらの顕微計測技術を利用してインラインのワークの高精度な形状モデルが得られれば，製品の良否を的確に判別でき，無駄のない効率的な生産工程を生み出せ，持続可能な社会の実現に大きく貢献できる．また，医療分野での細胞の成長制御等にも，細胞の定量的な把握のために形状モデルが不可欠である．しかしながら，顕微計測データに対する形状モデリング手法が欠如しているため，現状ではそれらのデータを有効に利活用できていない．そこで，本研究では３次元顕微計測と形状モデリングを統合し，計測対象の高精度な形状モデルを高速に作成する基盤技術を研究・開発することを目的とする．例として，ナノパーティクスである金粒子のモデリング例について報告する．
