圧縮試験装置を用いたCMP研磨パッドの非線形粘弾性の同定

抄録

CMPに用いられる研磨パッドの圧縮試験を行い，その非線形弾性特性および比例減衰係数の同定を試みた．粘性特性を精度よく同定するには，高ひずみ速度で圧縮試験を行う必要があるため，本研究では，VCM（ボイスコイルモータ）を用いた圧縮試験装置を開発した．さらに，古典的な力学モデルに基づいて研磨パッド表面層のモデル化を行い，実験結果と比較することでその凹凸パラメータを同定し，研磨圧力の解析に適用した．