X線CT装置計測を用いたMEMSリバースエンジニアリング

第2報 計測実験による課題抽出とその対策の検討

抄録

本報では、MEMSの製造効率向上のために、リバースエンジニアリングの適用を目指す。そこで、MEMSの分野においてリバースエンジニアリングを適用する上での課題を抽出し、その対策を検討する。今回はX線CT装置によりMEMSを計測して、その計測データから3次元形状を抽出し、シミュレーション解析を行った。その中で、適切な解析モデルを生成するために計測データのコントラストやノイズに着目し、課題対策を行った。