マイクロ流体チップ金型の微細溝加工の研究

マイクロエンドミルの工具回転振れの影響

抄録

医療分野で注目されているマイクロ流体チップの金型製作には，フォトリソグラフィー技術が用いられている．しかし，この方法には金型製作期間の短縮や低コスト化の課題がある．そこで，本研究ではマイクロエンドミルによる切削加工で，マイクロ流体チップ金型を製作する方法を検討している．本報告では， 工具の回転振れが切削特性や工具摩耗に及ぼす影響について実験的に検討した結果を報告する．