微小径エンドミル加工における工具剛性の加工精度への影響

抄録

微小径エンドミルを用いた微細加工では，工具剛性が著しく低いため，加工精度の劣化や加工能率の制限、工具の寿命低下など、課題が山積している．本研究では，直径100μmの微小径エンドミルを用いて溝切削したときの、工具の弾性変形の加工精度、とくに溝形状精度および位置精度への影響について、実験及び解析により解明を試みている。