真空加熱下におけるAFMによるSi単結晶のナノ加工

抄録

AFMにより，Si単結晶へ種々の環境下（大気，真空，真空加熱）で電圧印加加工を行い，環境が加工に及ぼす影響について検討した．加工はどの環境下でもナノスケールの加工を行う事が出来た．また，大気中・室温で線加工を行い，TEMにより断面形状を観察し加工メカニズムを推定する．