SPMによるナノ構造の創成に関する研究

機械および電気的手法による検討

抄録

ナノスクラッチと局所陽極酸化により，シリコン基板上にナノ構造を製作することを目的とする．本手法は，ナノインプリント用の金型製造に適用できるものである．本報では，上述の二手法によりナノスケールの凹および凸形構造を製作し，それらの構造の深さないし高さを増大させるため，それにエッチングを付与する試みを行った．その結果，それらの構造の深さないし高さは十倍以上増大し，本手法の有用性が確認された．