ダイヤモンドAFMプローブを用いたナノ計測一体型超微細加工システムの開発（第3報）

プローブ作製プロセスの最適化

抄録

本研究では，高硬度・耐摩耗性に優れた原子間力顕微鏡（AFM）用のダイヤモンドプローブを開発し，ナノメートルレベルの微細加工と形状計測・表面物性評価機能を同時に備えたシステムの実現を目的としている．本報では，無機・有機ハイブリッド膜を中間層に用いた異種材料のウエハレベルでの接合技術ならびにダイヤモンド探針のドライエッチング技術を検討した．さらに，ダイヤモンドプローブを試作し，その性能を評価した．