精密工学会学術講演会講演論文集
2011年度精密工学会秋季大会
セッションID: H78
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フェムトパルストレインによる表面原子加工システムの開発
*福田 悠介林 照剛道畑 正岐高谷 裕浩
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抄録
フェムト秒レーザー加工では超短パルス光の照射による高強度電解によって照射スポットにコヒーレントフォノンと呼ばれる数十ピコ秒で減衰する格子振動が励起され、熱拡散を伴わない非熱的な局所加工が生じる。このコヒーレントフォノンをフェムトパルストレインによって制御し、光子-量子の直接作用による加工原理の確立を目指す。本報では超短パルス波形整形システムの構築と整形したパルスの時間分解波形測定について報告する。
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© 2011 公益社団法人 精密工学会
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