N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコン表面の精密位置合わせ３次元形状創成

抄録

シリコン基板表面にN-フルオロピリジニウム塩を液状で塗布し、光を照射することで、シリコンは選択的にエッチングされる。このエッチング法は光強度や光照射時間および基板温度に依存しており、本研究では、光強度分布をもつ光を照射することにより球面形状を作製することに成功した。また、加工した表面を修正加工するためには精密位置合わせが必要であり、今回、その位置合わせ用のマークを作製することを試みた。