Na2SO4電解還元水の基本特性およびその精密洗浄性能

佐藤 運海; 竹内 政生; 川久保 英樹

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.533.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: J45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.533.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

Na₂SO₄電解還元水の基本特性およびその精密洗浄性能

*佐藤運海, 竹内政生, 川久保英樹

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キーワード: 電解還元水, 酸化還元電位, 溶存水素, 水素ナノバブル, 表面洗浄

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抄録

NaCl電解還元水は，炭素鋼切削面の脱脂洗浄，研磨工程後のシリコンウエハの研磨材微粒子除去洗浄，および切削液としてステンレス鋼の切削加工に有効である．Na2SO4電解還元水は，NaCl電解還元水と比べ，生成時塩素おガスが発生しないため，応用範囲が広い．本研究において，Na2SO4電解還元水を精密洗浄に応用することを目的として，その基本特性および洗浄性能について実験的検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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