高次モード結合型超音波ポンプの基礎的検討

抄録

流体中で超音波振動する平行平面間にはたらくスクイーズ膜効果を利用した超音波ポンプが研究されている。従来の超音波ポンプは正弦波振動によって駆動をしていたが、本研究では正弦波振動に高調波振動を位相制御しながら結合して駆動することにより、ポンプの高効率化を実験的に評価した。