中空管マイクロポンプの高機能化を目的としたリング型PZTアクチュエータのFEM 解析

相澤 英一; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.545.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: J64

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.545.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

中空管マイクロポンプの高機能化を目的としたリング型PZTアクチュエータのFEM 解析

*相澤英一, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 中空管マイクロポンプ, リング型PZTアクチュエータ, 溝

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抄録

我々は流路部とポンプ部を一体化した中空管マイクロポンプの開発を行っているが，流量増加のためアクチュエータであるリング型PZTの変位量増加が必要である．解析よりリング型PZTへの溝付加が変位量増加に有効だと確認されているが，溝部応力集中も確認されている．本研究では，PZTの変位量増加および応力集中減少が可能な溝形状探索のため，(a)長方形溝 (b)台形溝 (c)曲率溝を付加したPZTのFEM解析を行い，応力および変位量の比較を行った．

責任著者(Corresponding author)

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