SEM内微細操作のためのマニピュレーションシステム

把持ツールの試作と評価

抄録

走査型電子顕微鏡（SEM）内において微細操作を行うには、多自由度のマニピュレーションツールが適している。また、SEM内ではノイズの発生を防ぐため、非磁性のアクチュエータを用いる必要がある。そこで、これまでに開発した多自由度ステージに搭載して使用する、電磁ノイズの発生しない圧電素子を用いたマニピュレーションツールの設計・試作を行った。本報告では、試作したマニピュレーションツールの性能評価を行う。