ワイヤ駆動式マイクロマニピュレータの開発

第二報 ひずみ検出による張力制御

抄録

本研究は、圧電アクチュエータの変位の伝達に極細のワイヤを用いることで操作対象周りを軽量化し、高速なマニピュレーションを行える装置の開発を目的としている。ワイヤの張力変化に伴い装置内部の応力にも変化が生じるため、この応力変化から圧電アクチュエータの変位量を制御する方法を検討している。本報では、この装置内部の応力変化を用いたワイヤ駆動ユニットの高速制御手法について述べる。