セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

第7報 犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法

抄録

弾性表面波リニアモータは薄型・高出力などの特長を持った超音波モータである。摩擦駆動という原理の性質上、摩擦駆動面において摩耗が問題となる。これまでに摩耗の改善のために耐摩耗材料であるセグメント構造DLC膜が導入されてきた。しかし、DLC膜のセグメントの形状が問題となり、駆動特性が低下した。そこで、本報では駆動特性を向上させるために新たなセグメント構造DLC膜の成膜方法を提案した。