LiNbO₃単結晶を用いた高温対応振動子に関する研究

抄録

超音波振動子は超音波モータや超音波による洗浄・加工など様々な分野への応用を目指して研究がなされている。現在、超音波振動子の振動減として用いられている圧電材料はPZTである。しかし、PZTは150℃付近から特性が徐々に低下してしまうという欠点を持っている。そこで、本研究では高温に強いLiNbO3を圧電体として用いることにより、高温下でも高い振動特性を持った振動子の開発を行った。