表面凝着力を考慮した力学に基づくシングルプローブを用いた微小導体球の機械的配置操作

奈良 泰彦; 高橋 邦夫; 齋藤 滋規

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.581.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: K04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.581.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

表面凝着力を考慮した力学に基づくシングルプローブを用いた微小導体球の機械的配置操作

*奈良泰彦, 高橋邦夫, 齋藤滋規

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キーワード: マニピュレーション, BGA, 凝着, 微小物体, プローブ, 塑性変形

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抄録

大気中においてシングルプローブを用いて基板上に直径約30マイクロメートルの導体球を配置する．その際に意図する物体操作(pickあるいはplace)を実現するために適切な力の方向が存在することが実験的に示された．本研究では凝着力と転がり抵抗を考慮した力学モデルを用い，導体球に加わる力を推定することで適切なプローブの軌道方向を提示し，操作に伴う微小導体球の塑性変形の影響について議論する．

責任著者(Corresponding author)

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