MEMS用TiNi-SMA薄膜アクチュエータの設計条件の最適化

西村 浩平; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2011A.0.583.0

2011年度精密工学会秋季大会

セッションID: K06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011A.0.583.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

MEMS用TiNi-SMA薄膜アクチュエータの設計条件の最適化

*西村浩平, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 形状記憶合金, 有限要素法, 薄膜, アクチュエータ

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抄録

MEMS用アクチュエータとしてのTiNi薄膜に形状記憶処理を施す際，外力を用いた変形では，薄膜に皺や破れ等の破損が生じる可能性が考えられる．その対策として前報までに，膜面内の残留応力に着目した自発的な変形発生手法及び，アクチュエータ設計を行う上での適切な因子選定に関する提案を行った．本報告では各設計因子の最適化を行い，最適設計条件下での変形状態の観察を行う．

責任著者(Corresponding author)

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